3.溅射靶材
溅射靶材是指一种用溅射沉积或薄膜沉积技术制造薄膜的材料。中商产业研究院发布的《2024-2029中国靶材市场现状及未来发展趋势》显示，2022年中国靶材市场规模达到395亿元，同比增长6.76%，2023年市场规模约为431亿元。中商产业研究院分析师预测，2024年中国靶材行业市场规模将达到476亿元。
数据来源：中商产业研究院整理
4.光刻机
（1）市场规模
近年来，在消费电子需求相对低迷的情况下，电动汽车、风光储、人工智能等新需求成为半导体产业成长的新动能，全球光刻机市场规模平稳增长。数据显示，2022年全球半导体设备市场规模为1076.5亿美元，其中光刻机市场占比约为24%，规模达到约258.4亿美元，2023年约为271.3亿美元。中商产业研究院分析师预测，2024年全球光刻机市场规模将增至295.7亿美元。
数据来源：SEMI、中商产业研究院整理
（2）重点企业分析
目前中国光刻机生产企业较少，主要企业包括上海微电子装备有限公司、北京华卓精科科技股份有限公司、北京科益虹源光电技术有限公司、长春国科精密光学技术有限公司、北京国望光学科技有限公司、浙江启尔机电技术有限公司、东方晶源微电子科技公司。具体如图所示：
资料来源：中商产业研究院整理
5.刻蚀机
刻蚀机主要用来制造半导体器件、光伏电池及其他微机械等。近年来，全球刻蚀机市场规模呈增长趋势。中商产业研究院发布的《2017-2027全球及中国半导体设备行业深度研究报告》显示，2019-2022年，全球刻蚀机市场规模由115亿美元增至139.9亿美元，复合年均增长率达6.8%，2023年约为148.2亿美元。中商产业研究院分析师预测，2024年全球刻蚀机市场规模将达156.5亿美元。
数据来源：Gartner、中商产业研究院整理
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