二、光刻机企业分析
1.国内重点企业
上海微电子深耕光刻机产品研发，承担多项专项科研任务。目前公司光刻机产品主要包括IC前道光刻机、IC后道封装光刻机、面板前道光刻机、面板后道封装光刻机。作为国内光刻机设备领域的领航者，上海微电子承担着国产光刻机设备的希望，若能实现光刻机设备的国产化，中国大力发展的半导体产业必将迈上一个新台阶。
资料来源：中商产业研究院整理
2.光刻机零部件相关厂商
光刻机由光源、照明系统、物镜、工件台等部件组装而成，相关环节企业进度如下：
资料来源：中商产业研究院整理
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