MEMS传感器也称为微型电子机械系统(Micro-Electro Mechanical System):是指采用微电子和微加工技术将微微传感器、微执行器及微结构集于一体的微型器件或系统。
相对于传统机械,MEMS传感器主要优势体现在一是体积小,微型化程度高,最大不超过一个厘米,甚至仅仅为几个微米,其厚度就更加微小;二是易于集成和实现智能化;三是采用以硅为主的材料,电气性能、强度、硬度和杨氏模量性能优良;四是采用与集成电路类似的的生成技术,可大批量生产,成本低,使性价比大大提高。
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