2.光刻机
（1）全球市场规模
近年来，受到芯片需求增长的影响，光刻机市场规模稳步增长。中商产业研究院发布的《2025-2030年中国光刻机市场调查与行业前景预测专题研究报告》显示，2024年全球光刻机市场规模达315亿美元，同比增长16.2%。中商产业研究院分析师预测，2026年将达392亿美元。
数据来源：中商产业研究院整理
（2）全球光刻机出货量
中商产业研究院发布的《2025-2030年中国光刻机市场调查与行业前景预测专题研究报告》显示，2024年，ASML、Nikon、Canon的集成电路用光刻机出货达683台，较2023年的681台增加2台，基本持平；销售金额约在264亿美元，2023年销售金额约269亿美元，销售额基本持平。
数据来源：中商产业研究院整理
3.刻蚀机
（1）全球市场规模
全球半导体刻蚀设备市场由泛林半导体、东京电子、应用材料三巨头垄断超80%份额，中国厂商在成熟制程领域实现突破但先进制程仍依赖进口。中商产业研究院发布的《2025-2030全球及中国半导体设备行业深度研究报告》显示，2023-2025年全球半导体刻蚀设备市场规模从148.2亿美元增至164.8亿美元，年均复合增长率约5.5%。中商产业研究院分析师预测，受益于3D NAND扩产及先进制程迭代，2026年全球半导体刻蚀设备市场规模将达173.8亿美元。
数据来源：中商产业研究院整理
（2）重点企业分析
刻蚀机行业的竞争格局呈现出高度集中且竞争激烈的态势。全球范围内，以LAMResearch、AMAT和TEL为代表的国际巨头占据了市场的主导地位，它们凭借先进的技术、丰富的产品线和广泛的客户群体，在全球刻蚀机市场中占据了大部分份额。中微公司和北方华创等本土企业凭借自主研发和创新能力，逐渐在刻蚀机领域崭露头角，成为国内刻蚀机行业的领军企业。具体如图所示：
资料来源：中商产业研究院整理
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