5.企业潜力排行
当前光刻机行业在国产替代与技术突破的双重驱动下加速整合，头部企业通过核心部件研发与产业链协同构建差异化优势。光刻机整机、光学系统、掩膜版及配套材料成为关键竞争领域，而高精度运动控制与检测技术的突破进一步缩小与国际差距。未来，随着政策支持与资本投入加大，具备全链条技术整合能力的企业将在全球半导体设备市场中占据更重要的战略地位。
资料来源：中商产业研究院整理
6.相关上市企业分析
中国目前尚未有企业能够自主生产光刻机，但部分企业在相关领域取得进展。A股相关光刻机上市企业中，江苏省分布最多，共12家。广东省和浙江省均为6家，并列第二。
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7.企业热力分布图
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