（3）核心环节
半导体零部件按照类型分，可以分为6类：分别为机械类、电气类、机电一体类、气体/液体/真空系统类、仪器仪表类、光学类。
资料来源：中商产业研究院整理
（4）重点企业
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2.核心子系统
半导体设备的关键子系统主要分为8大类，可分为：气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、电源及气体反应系统、热管理系统、晶圆传送系统、集成系统，每个子系统亦由数量庞大的零部件组合而成。
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