中商情报网讯：刻蚀机是芯片制造过程中的核心设备之一，刻蚀是利用化学或者物理的方法将晶圆表面附着的不必要的材质进行去除的过程。在刻蚀机中，闪电、极光也都是等离子体会轰击在晶圆表面，将原子直接打出，或发生化学反应与晶圆上的材料形成新的化合物挥发，实现刻蚀。
一、产业链
刻蚀机产业链中，上游为刻蚀机的四大组成部分，主要包括预真空室、刻蚀腔体、供气系统及真空系统；中游为刻蚀机的制造，刻蚀技术主要有两种，传统湿法刻蚀技术及现代干法刻蚀技术；下游为刻蚀机的应用，主要用来制造半导体器件、太阳能电池及其他微机械制造。
资料来源：中商产业研究院
二、上游分析
刻蚀机主要包括预真空室、刻蚀腔体、供气系统和真空系统四部分。具体如下图所示：
资料来源：中商产业研究院整理
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