4.电子气体
电子特气是指在半导体芯片制备过程中需要使用到的各种特种气体，按照气体的化学成分可以分为通用气体和特种气体。其中电子特种气体又可划分为掺杂气、外延气、离子注入用气、LED用气、蚀刻用气、化学汽相沉淀用气、载运和稀释气体等几大类，种类繁多，在半导体工业中应用的有110余种电子气体，常用的有20-30种。
资料来源：中商产业研究院整理
5.湿电子化学品
湿电子化学品，也通常被称为超净高纯试剂，是指用在半导体制造过程中的各种高纯化学试剂。为满足半导体集成电路的发展水平，湿电子化学品的技术实现了G1到G4级不同等级的商业化生产，并向更高技术等级的产品进步。全球湿电子化学品市份额为欧美、日韩等海外企业主导，欧美、日本、韩国企业市场份额分别约为35%、28%、16%。半导体湿电子化学品领域整体国产化率约23%。
数据来源：中商产业研究院整理
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